TMC LaserTable-Base混合壓電主動隔振系統

TMC LaserTable-Base混合壓電主動隔振系統

LaserTable-Base™是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常，光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3 Hz范圍內的振動。

TMC的STACIS通過結合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術（空氣和STACIS）整合到一個集成的消振系統中。由于兩個串聯隔振系統的綜合效應，這實現了低頻率消振和高頻隔振水平。

LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設計，可互換。它可以結合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架，具體取決于應用要求。

規格

• 采用STACIS®技術

• 主動慣性消振系統

• 消振從低于1 Hz開始

• 加長行程的壓電致動器，高達60微米。

• 6個主動自由度

• 由兩個串聯隔振系統組成，可實現最佳隔振效果

• 采用MaxDamp®空氣隔振器

• 簡單、堅固且經濟高效

• 可選的擱板，用于在工作臺下方安裝設備

• 包括TMC的DC-2020數字控制器

性能

將低頻、被動MaxDamp®空氣隔振器與壓電主動消振系統串聯在一起，可得到整體傳遞率曲線，即兩條單獨傳遞率曲線的總和。由此產生的隔振性能非常顯著，在某些頻率范圍內，我們受到測量儀器噪聲基底的限制。并且無法測量和演示完整的隔振性能。也就是說，在10-12 Hz以上，組合系統的實際性能預計將超過所示性能，因為組合隔振理論上是兩個子系統所提供的隔振的總和。

TMC LaserTable-Base混合壓電主動隔振系統